院企协同攻坚技术 助力国产高端精密气体分析仪器创新

近日，湖北卓砺精辰技术有限公司与湖北省计量测试技术研究院召开专题技术研讨会，并达成全方位深度战略合作。双方将围绕高端精密气体分析仪器国产化、计量溯源标准化、关键核心技术自主可控等重点方向开展联合攻关，以产学研协同创新助力半导体及特种气体质量安全保障体系建设。

图一：湖北卓砺精辰技术有限公司与湖北省计量测试技术研究院召开专题技术研讨会。

研讨会上，卓砺精辰重点展示了具有完全自主知识产权的高压气体粒子计数器。该设备在整机核心技术、核心算法及溯源体系等方面实现自主可控，成功突破国外长期技术与市场垄断，性能达到国际先进水平。

据介绍，该设备可实现氢气、氮气、氩气、氦气及各类电子特种气体、氟化物、绝缘气体等多品类气体的ppb级痕量精密检测，广泛适用于半导体芯片制造、高纯电子特气管控、高端工业气体监测等关键领域。设备的国产化应用，有助于降低核心装备进口依赖，化解供应链断供、数据安全受制、海外技术封锁等风险，推动我国高端气体分析检测装备由“跟跑、并跑”向“自主领跑”跨越。

湖北省计量测试技术研究院相关负责人葛久志表示，计量是高端制造质量基石。下一步，双方将聚焦四大方向开展深度联动：共建高纯气体精准检测规范体系，联合研制国家标准物质，参与行业及国家制式标准修订，共建复合型专业人才培育基地，并打造集研发验证、计量校准、性能评价、成果转化于一体的高水平联合实验室。

图二：双方参会代表合影。

此次合作将围绕半导体高纯气体计量溯源难、标准不统一、国产仪器市场认可度不足等行业痛点持续发力，进一步畅通国产高端仪器研发、计量校准、规模化应用的全产业链闭环。

双方表示，将以此次战略合作为契机，持续提升我国特种气体精密计量自主保障能力，为半导体产业链供应链安全稳定提供有力支撑，以精准计量赋能先进制造业高质量发展，为质量强国、制造强国建设夯实技术基础。

统筹编辑：中经总网®・中经在线

责编：郑建华 侯晋平

编审：王海珠 熊辉

荐稿：周文

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